Nedavno je Šangajski institut za mikrosistem i informacijske tehnologije Kineske akademije znanosti razvio visoko performanse MEMS brzo reflektirajuće ogledalo s integriranim senzorima kuta . ogledalo ima veliku veličinu, mali volumen paketa, izvrsna performansa i veliki potencijal u laserskim satelitskim komunikacijama {{{3
Ogledalo koje se brzo reflektira trebalo je gotovo pet godina da se razvije . prihvaća dvoslojnu heterogenu integraciju i tehnologiju povezivanja na razini vafera, a njegov je svezak samo veličina 1- yuan kovanica .
Prevladava tehnička uska grla tradicionalnih mehaničkih ogledala za brzo reflektiranje i originalnih MEMS-ovih ogledala koja se brzo reflektiraju, stvarajući prostor svemirskog stupnja s naglaskom točnosti μrad, ispunjavajući ultra visoke pokazatelje performansi satelitskih aplikacija .}
Inspiriran zaslonom mobilnog telefona, tim je koristio princip silikonskog piezorezistivnog naprezanja za integriranje senzora kuta, a kroz strukturnu inovaciju osjetljivost je povećana za 63%, optimizirajući točnost kontrole snopa .
Rezultati ispitivanja pokazuju da na određenoj frekvenciji točnost kuta zadovoljava standard, a maksimalna dinamička površinska deformacija samo 2 nanometra .
Dužnosnik je napravio analogiju, koja je ekvivalent svim usponima i padovima na ogledalu veličine nogometnog polja koji ne prelazi promjer kose, ispunjavajući stroge zahtjeve satelitske laserske komunikacije na dugim udaljenostima na površini zrcala .
