Kao što svi znamo, postoji samo jedan proizvođač na svijetu koji može proizvesti EUV litografiju, a to jenizozemski ASML.
Razlog zašto postoji samo jedan proizvođač na svijetu je taj što je ASML povezao mnoge ključne proizvođače, kao što su Zeiss (Zeiss), njemačka optička tvrtka, Cymer (SAD) iTRUMPF (Njemačka).
ASML je vezao ove proizvođače za svoju kočiju kroz investicije, akvizicije, dioničarstvo, osnivanje istraživačkih centara, i tako dalje, a ti proizvođači su vjerojatno jedini proizvođači na svijetu koji mogu proizvesti te proizvode, tako da u konačnici samo ASML na svijetu može izraditi EUV litografiju.
Međutim, nedavno je ključni lanac opskrbe ASML-a otrčao u Shenzhen u Kini kako bi izgradio tvornicu, a njegova podružnica u Shenzhenu smjestila se u kinesko-njemačkom (europskom) industrijskom demonstracijskom parku Baoan.
Ovaj proizvođač je njemačka TRUMPF grupa (TRUMPF), to je ASML-ova EUV litografija, jedini dobavljač laserskih izvora na svijetu.
TRUMPF proizvodi u EUV litografiji, koliko su važni? Prvo, poslušajte me kako objašnjavam princip EUV litografije, razumjet ćete.
Načelo EUV litografije, pojednostavljeno rečeno, usredotočeno je na tri glavna sustava, sustav izvora ultraljubičastog svjetla EUV, sustav zrcala objektiva i sustav stola.
Specifičan postupak je korištenje lasera za pobuđivanje valne duljine od 13,5 nm ekstremnog ultraljubičastog svjetla, koje se zatim ispravlja u obliku kontrolirane zrake svjetlosti, koja se zatim projicira na stol fotomaske prije nego što se projicira kroz zrcalo objektiva na stol za ekspoziciju i konačno ugraviran u strujni krug na silicijskoj ploči obloženoj fotorezistom.
Kako se jedan od EUV sustava izvora UV svjetla dobiva bombardiranjem kapljice metala kositra (Sn) s CO2 laserom snage 30 kW, isparavanjem u plazmu i konačno dobivanjem EUV svjetla na valnoj duljini od 13,5 nm.
Ovaj CO2 laser od 30 kW isporučuje TRUMPF, jedini u svijetu.
Ne podcjenjujte ovaj CO2 laser, ima 457.329 dijelova, duljina kabela u sustavu je do 7.322 metra, a težina 17.090 kg, što je jedna od najvažnijih jezgrenih komponenti u EUV litografiji.
Sada je TRUMPF otrčao u Kinu kako bi izgradio tvornicu, namjera je jasna, to jest, optimističan u pogledu kineskog tržišta lasera, i još dugoročniji pogled, optimističan u pogledu kineskog tržišta litografije, budućnost bi mogla surađivati s Kinom u izgradnji EUV litografije .
Zapravo, već postoji više od jednog lanca opskrbe ASML-a koji ide u Kinu radi izgradnje tvornice, tu su i KMWE i drugi proizvođači, također u Kinu radi izgradnje tvornice.
Prema trenutnom trendu, možemo optimistično očekivati da ne može proći dugo prije nego što će kineska tehnologija litografije biti veliki korak naprijed, pa čak i volumen izlazne EUV litografije, također se može veseliti, što mislite?
